Э. зародилась в начале 20 в. после создания основ электродинамики (1856—73), исследования свойств термоэлектронной эмиссии
(1882—1901), фотоэлектронной эмиссии
(1887—1905), рентгеновских лучей
(1895—97), открытия электрона (Дж. Дж. Томсон
,
1897), создания электронной теории (1892—1909). Развитие Э. началось с изобретения лампового диода
(Дж. А. Флеминг
,
1904), трёхэлектродной лампы — триода
(Л. де Форест
,
1906); использования триода для генерирования электрических колебаний (немецкий инженер А. Мейснер, 1913); разработки мощных генераторных ламп с водяным охлаждением (М. А. Бонч-Бруевич
,
1919—25) для радиопередатчиков, используемых в системах дальней радиосвязи и радиовещания. Вакуумные фотоэлементы
(экспериментальный образец создал А. Г. Столетов
,
1888; промышленные образцы — немецкие учёные Ю. Эльстер и Г. Хейтель, 1910); фотоэлектронные умножители
—
однокаскадные (П. В. Тимофеев
,
1928) и многокаскадные (Л. А. Кубецкий
,
1930) — позволили создать звуковое кино, послужили основой для разработки передающих телевизионных трубок
: видикона
(идея предложена в 1925 А. А. Чернышевым
), иконоскопа
(С. И. Катаев
и независимо от него В. К. Зворыкин
,
1931—32), супериконоскопа
(П. В. Тимофеев, П. В. Шмаков
,
1933), суперортикона
(двухсторонняя мишень для такой трубки была предложена советским учёным Г. В. Брауде в 1939; впервые суперортикон описан американскими учёными А. Розе, П. Веймером и Х. Лоу в 1946) и др. Создание многорезонаторного магнетрона
(Н. Ф. Алексеев и Д. Е. Маляров
,
под руководством М. А. Бонч-Бруевича, 1936—37), отражательного клистрона
(Н. Д. Девятков
и другие и независимо от них советский инженер В. Ф. Коваленко, 1940) послужило основой для развития радиолокации в сантиметровом диапазоне волн; пролётные клистроны (идея предложена в 1932 Д. А. Рожанским
,
развита в 1935 советским физиком А. Н. Арсеньевой и немецким физиком О. Хайлем, реализована в 1938 американскими физиками Р. и 3. Варианами и др.) и лампы бегущей волны
(американский учёный Р. Компфнер, 1943) обеспечили дальнейшее развитие систем радиорелейной связи, ускорителей элементарных частиц и способствовали созданию систем космической связи. Одновременно с разработкой вакуумных электронных приборов создавались и совершенствовались газоразрядные приборы (ионные приборы
),
например ртутные вентили
,
используемые главным образом для преобразования переменного тока в постоянный в мощных промышленных установках; тиратроны
для формирования мощных импульсов электрического тока в устройствах импульсной техники; газоразрядные источники света
.
Использование кристаллических полупроводников в качестве детекторов
для радиоприёмных устройств (1900—05), создание купроксных и селеновых выпрямителей тока и фотоэлементов (1920—1926), изобретение кристадина (О. В. Лосев
,
1922), изобретение транзистора
(У. Шокли
,
У. Браттейн
,
Дж. Бардин
,
1948) определили становление и развитие полупроводниковой электроники
.
Разработка планарной технологии
полупроводниковых структур (конец 50 — начало 60-х гг.) и методов интеграции многих элементарных приборов (транзисторов, диодов, конденсаторов, резисторов) на одной монокристаллической полупроводниковой пластине привело к созданию нового направления в Э. — микроэлектроники
(см. также Интегральная электроника
).
Основные разработки в области интегральной Э. направлены на создание интегральных схем
—
микроминиатюрных электронных устройств (усилителей, преобразователей, процессоров
ЭВМ, электронных запоминающих устройств и т. п.), состоящих из сотен и тысяч электронных приборов, размещаемых на одном полупроводниковом кристалле площадью в несколько мм2.
Микроэлектроника открыла новые возможности для решения таких проблем, как автоматизация управления технологическими процессами, переработка информации, совершенствование вычислительной техники и др., выдвигаемых развитием современного общественного производства. Создание квантовых генераторов (Н. Г. Басов
,
А. М. Прохоров
и независимо от них Ч. Таунс
,
1955) — приборов квантовой электроники
—
определило качественно новые возможности Э., связанные с использованием источников мощного когерентного излучения оптического диапазона (лазеров
) и построением сверхточных квантовых стандартов частоты
.