Компрессионным вакуумметром (рис. 4
) можно измерять более низкие давления 10-3н
/м2
(10-5
мм рт. ст.
). Действие такого вакуумметра основано на Бойля — Мариотта законе
. Основные части прибора: баллон объёмом V,
два капилляра одинакового диаметра d
, один из которых запаян, и трубка, соединяющая прибор с системой, в которой измеряется давление; снизу вводится жидкость (в большинстве случаев ртуть), которая отсекает в объёме V
газ при измеряемом давлении р
и затем сжимает его до давления p1
³ р
в малом объёме запаянного капилляра
где h —
высота части капилляра, не заполненная жидкостью. Давление p1
определяется по разности уровней столбиков жидкости в запаянном и открытом капиллярах. По закону Бойля — Мариотта p = p1 V1
/V
, таким образом измеряемое давление можно определить, если известны d
и V
. Показания жидкостных, механических и компрессионных вакуумметров не зависят от природы газа.
Для измерения вакуума до 10-2
н
/м2
(10-4 мм рт. ст.
) можно применять также и тепловой вакуумметр, принцип действия которого основан на зависимости теплопроводности разреженных газов от давления. Датчиком прибора служит герметичный баллон с проволокой, нагреваемой электрическим током. При изменении давления в системе изменяется отвод тепла от нити датчика и, следовательно, её температура (при постоянной мощности). Различают термопарные вакуумметры, температура нити которых измеряется присоединённой к ней термопарой, и теплоэлектрические вакуумметры сопротивления, температуру нити которых определяют по её электрическому сопротивлению. В ионизационном вакуумметре газ ионизуется каким-либо источником постоянного ионизующего излучения. Интенсивность ионизации газа зависит от давления. В электронных ионизационных вакуумметрах ионизация производится потоком электронов. Обычно такой вакуумметр имеет три электрода (рис. 5
): катод К
, анод А
, создающие электрическое поле, которое ускоряет электроны и сообщает им энергию, необходимую для ионизации; отрицательный коллектор Кол
, собирающий образующиеся в газе положит, ионы. Сила ионного тока в цепи коллектора служит мерой давления газа. Ионизационными вакуумметрами можно измерять вакуум в широких пределах (см. рис. 1
). Сверхвысоковакуумным ионизационным вакуумметром, так называемой лампой Байярда-Альперта (рис. 6
), можно измерять давления в широких пределах. Этот вакуумметр имеет катод, находящийся снаружи, и коллектор, которым служит тонкая проволока, помещенная внутри анодной сетки. Таким вакуумметром можно измерять давления до 10-8н
/м2
(10-10мм рт. ст.
). Ионизационный вакуумметр Лафферги (рис. 7
) работает в магнитном поле. Это позволяет удлинить пути электронов в рабочем пространстве и обеспечить высокую эффективность ионизации при очень малом электронном токе. Нижний предел измерений такого вакуумметра — 10-11н
/м2
(10-13мм рт. ст.
). Для измерения давлений до 10-5н
/м2
(10-7мм рт. ст.
) применяют ионизационный радиоизотопный вакуумметр (альфатрон
), в котором ионизация газа осуществляется a-частицами. В магнитном электроразрядном вакуумметре использована зависимость тока электрического разряда в магнитном поле от концентрации газа, а следовательно, и от его давления. Этими вакуумметрами также можно измерять сверхвысокий вакуум до 10-12
н
/м2
(10-14мм рт. cm.
). Вакуумметр (рис. 8
) состоит из преобразователя, имеющего 2 плоскопараллельные катодные пластины К
и помещенный между ними кольцевой анод А
, плоскость которого параллельна пластинам. Трубка расположена в магнитном поле постоянного магнита с напряжённостью Н
=
32 ка
/м
(400 э
); направление поля перпендикулярно пластинам. Между электродами приложено напряжение U
= 2—3 кв
через сопротивление R
= 1 Мом
. Сила разрядного тока служит мерой давления и измеряется гальванометром Г. Совместное действие электрического и магнитного полей многократно удлиняет траектории электронов и увеличивает вероятность ионизации газа. Это приводит к возникновению и существованию самостоятельного разряда при очень низких давлениях. Первыми электроразрядными вакуумметрами измеряли давления до 10-2 н
/м2
(10-4 мм pт
. ст
.), а современными электроразрядными вакуумметрами (в том числе выпускаемыми в СССР) — до 10-12н
/м2
(10-14 мм рт
. ст
.). Вязкостный вакуумметр применяют в лабораторной практике для измерения давлений до 10-4
н
/м2
(10-6 мм рт
. ст
.). Принцип его действия основан на зависимости вязкости разреженного газа от его давления. Существуют демпферный вязкостный вакуумметр и вязкостный вакуумметр с диском. В первом мерой давления служит время затухания свободных колебаний какого-либо вибратора в газе. Во втором — вращающийся с большой скоростью диск передаёт через газ вращающий момент др. диску, подвешенному на тонкой нити; угол поворота этого диска служит мерой давления.