В. м. получают вакуумной дистилляцией
природных и синтетических жидкостей; по химическому составу различают минеральные, кремнийорганические и др. Наибольшее применение в вакуумной технике нашли минеральные и кремнийорганические В. м. В СССР получают следующие минеральные В. м.: ВМ-1, ВМ-2, ВМ-5 — применяют в паромасляных высоковакуумных насосах с предельным вакуумом без охлаждаемых ловушек соответственно не хуже 2,7 x 10-4
, 4,7 x 10-4
и 6,6 x 10-6 н
/м2
(2 x 10-6
, 3,5 x 10-6
и 5
x 10-8 мм рт. ст.
),
ВМ-4, ВМ-6 — в механических (форвакуумных) насосах (давление пара соответственно 5,3 x 10-3
—1,3 x 10-4 н
/м2
, или 4 x 10-5
—1 x 10-6 мм рт. ст
. и не выше 1,3 x 10-4 н
/м2
,
или 1 x 10-6 мм рт. ст.
); масло Г — в паромасляных бустерных насосах (предельный вакуум 10-2 н
/м2
, или 10-4 мм рт. ст.
). За рубежом применяют минеральные В. м. — Вакуойль 220 (Польша), Апиезон В (Англия), Майван 20 (США) и др. В СССР и за рубежом в паромасляных высоковакуумных насосах используют следующие кремнийорганические масла: ВКЖ — 94А, ВКЖ — 94Б (СССР) — смесь этилполисилоксанов с предельным вакуумом соответственно не ниже 2,7 x 10-4 н
/м2
(2 x 10-6 мм рт. ст.
) и не ниже 1,3 x 10-3 н
/м2
(1 x 10-5 мм рт. ст.
); смеси метилфенилполисилоксанов — ПФМС — Л
(СССР) с предельным вакуумом не ниже 2,7 x 10-4 н
/м2
(2 x 10-6 мм рт. ст.
),
силиконы ДС — 702, ДС — 703, ДС — 704, ДС — 705 (США) с предельным вакуумом от 2,7 x 10-4
до 6,6 x 10-7 н/м2
(от 2 x 10-6
до 5 x 10-9 мм рт. ст.
). Кроме того, применяют другие В. м., например полифениловые эфиры 5Ф4Э (СССР) и Конвалекс — 10 (США) с предельным вакуумом от 2,7 x 10-7
до 8 x 10-7 н/м2
(от 2 x 10-9
до 6 x 10-9 мм рт. ст.
).
Лит.:
Королев Б. И., Основы вакуумной техники, 5 изд., М. — Л., 1964; Дэшман С., Научные основы вакуумной техники, пер. с англ., М., 1964; Левин Г., Основы вакуумной техники, пер. с англ., М., 1969. Е. Н. Мартинсон.
Вакуумные измерения
Ва'куумные изме'рения,
см. Вакуумметрия
.Вакуумные материалы
Ва'куумные материа'лы,
материалы, применяемые в вакуумных аппаратах и приборах. Основные требования, предъявляемые к В. м., — низкое давление пара при рабочих температурах и возможность лёгкого обезгаживания. В. м. для оболочек вакуумных приборов, кроме того, должны быть мало газопроницаемы. Давление пара, газоотделение и газопроницаемость В. м. — основные свойства, определяющие верхний предел достижимого вакуума и возможность его сохранения в течение продолжительного времени. Другие требования к В. м. определяются областью их применения (см. Вакуумная техника
). Например, материалы для вакуумных ламп должны обладать достаточной прочностью при высоких температурах и быть хорошими изоляторами или, наоборот, проводниками. В. м. можно подразделить на следующие основные группы: конструкционные материалы, геттеры
(газопоглотители), вакуумные масла
и материалы, применяемые как рабочие жидкости насосов и вакуумметров (например, ртуть), замазки, смазки, лаки и цементы. Некоторые свойства важнейших конструкционных В. м. приведены в табл. 1—3. Табл. 1. — Неорганические конструкционные материалы
| Материалы | Температура при давлении паров 1,3мн/м»
(10-5
мм рт. ст.
),
°С | Температурный коэфф. линейного расширения в интервале от 0 до 100°С (a•107
),°С-1 | Температура плавления, °С |
| Металлы Алюминий | 841 | 238 | 658 |
| Вольфрам | 2564 | 44 | 3410 |
| Железо | 1083 | 119 | 1535 |
| Медь | 934 | 165 | 1083 |
| Молибден | 1955 | 55 | 2625 |
| Никель | 856 | 133 | 1452 |
| Палладий | 1157 | 116 | 1554 |
| Платина | 1585 | 90 | 1773,5 |
| Серебро | 751 | 189 | 960,5 |
| Тантал | 2402 | 65 | 2996 |
| Титан (иодидный) | 1336 | 81(20—200°C) | 1725 |
| Цирконий (иодидный) | 1836 | 54(20—200°C) | 1845 |
| Сплавы Латунь Л-68 | — | 184 | 938 |
| Монель | — | 137 | 1250 |
| Нихром | — | 125 | 1400 |
| Фернико (ковар) | — | 45—55 (20—300°C) | 1450 |
| Сталь нержавеющая 1Х18Н9 (ЭЯ-1) | — | 160 | 1400 |
| 1Х18Н9Т (ЭЯ-1Т) | — | 160 | 1450 |
| Различные материалы Электрографит | 2129 | 8—18 (продоль | 3800—3900 |
| Слюда (мусковит) | — | ный) 30 | 1300 |
| Кварц плавленый | — | 5 | 1700 |
| Стекло | — | 30—120 | — |
| Керамика Глинозёмистая Магнезиальная | — — | 46—70 (20—100°C) 70—80 (20—100°C) | 2000 1600 |
Табл. 2.—Органические конструкционные материалы