В декабре 1708 г. Петр I провел первую Губернскую реформу. По ней страна делилась на 8 губерний: Петербургскую (до 1710 г. Ингерманландская), Московскую, Архангелогородскую, Смоленскую, Киевскую, Казанскую, Азовскую, Сибирскую. В 1713–1714 гг. были созданы Нижегородская, Астраханская, Рижская губернии. Смоленская губерния была разделена между Московской и Рижской. В 1725 г. в России было 14 губерний.
В 1713–1719 гг. в каждой губернии было разное число провинций: в Петербургской — 11, в Московской — 9, в Киевской — 4, в Рижской — 2 и т. п. Провинции делились также на дистрикты, которые частично территориально совпадали с уездами. Во главе губернии стоял губернатор, во главе провинции — воевода. Губернскими городами управлял губернатор, при котором находилась провинциальная канцелярия. Во главе дистрикта был земский комиссар.
В ходе губернской реформы 1775–1780 гг. было учреждено 40 губерний с населением в 300–400 тыс. душ в каждой. К концу царствования Екатерины II за счет присоединенных территорий насчитывалась уже 51 губерния.
Для упорядочения управления страной в 1782 г. губернии были объединены в наместничества (генерал-губернаторства). Из 40 губерний были организованы 19 генерал-губернаторств. Каждое из них включало, как правило, 2 губернии.
С кон. 18 в. до нач. 19 в. губернии делились на округа или уезды, а провинции были упразднены. В Забайкальской, Кубанской, Терской и Сырдарьинской областях округа назывались отделами, в Амурской — округой. Две территориальные единицы Енисейской губернии, соответствовавшие округам, назывались краями — Туруханским и Усинским. В Астраханской губернии округам соответствовали: Земли Архангельского казачьего войска, Киргизская и Калмыцкая степи.
По Учреждению о губерниях 1775 г. многие города, входившие в губернии, становились центрами уездов. Провинции были упразднены (к этому моменту их было
Наместники и губернаторы были подведомственны Сенату и прокурорскому надзору, возглавляемому генерал-прокурором.
В 19 в. административно-территориальные органы разделились на две группы. Общегубернские органы сохранились на основной территории Европейской России (в 1860-е гг. — 51 губерния). На национальных окраинах (кроме Остзейского края — 3 губернии) была создана система генерал-губернаторств; Царство Польское (10 губерний), великое княжество Финляндское (7 губерний), Бессарабская область (до 1873 г.), Кавказский край (6 губерний, в конце века — 11), Сибирь (4 губернии, в конце века — 9), в I860–1880-е гг. Туркестанское генерал-губернаторство с вассальными Бухарским и Хивинским ханствами и Степное генерал-губернаторство с Казахстаном (9 губерний). Генерал-губернаторства были также в обеих столицах.
Реформы 1860–1870-х гг. ввели выборы и представительство всех сословий в организации местного управления и суда. Выборные органы земского самоуправления (земства) в уездах 34 губерний заведовали местным хозяйством; в городах этим занимались городские думы и управы.
С 1874 г. волостное правление находилось в ведении уездного по крестьянским делам присутствия.
Для борьбы с революционным движением указом 1879 г. учреждались временные генерал-губернаторства в Петербурге, Одессе и Харькове. Возглавлявшим их генерал-губернаторам предоставлялись широкие полномочия для охраны «порядка и общественного спокойствия». Они имели право ссылать и арестовывать, приостанавливать и запрещать издания газет и журналов.
«Положение о мерах к охранению государственного порядка и общественного спокойствия» от 14 августа 1881 г. расширило права генерал-губернатора в борьбе с революционным движением.
С 1889 г. волостное правление находилось в ведении земских участковых начальников.
Согласно «Правилам о местностях, объявляемых на военном положении» (1892 г.) на территориях генерал-губернаторств вводились военные порядки и все управление и суды переходили в руки военных властей.
В 1917 г. в составе Российской империи было 78 губерний. После Октябрьской революции 1917 г. 25 из них отошли к Польше, Финляндии, прибалтийским государствам.