В политической философии Нового времени исследованию этой проблемы были посвящены труды выдающихся мыслителей этого периода. К анализу проблемы обращались Н. Макиавелли, Т. Гоббс, Дж. Локк, Ж.-Ж. Руссо. В XIX столетии она получила новый импульс, вызванный событиями Великой Французской революции. Именно в этом историческом контексте и появилось впервые понятие «легитимность» (как легальность, законность) власти. Его появление было связано с необходимостью оправдания принципов восстановления власти династии Бурбонов во Франции. Меттерних и другие политические деятели этого периода употребляли понятие «легитимность» или «принцип легитимности» как требование восстановления монархии или принципа монархического правления, а также в качестве обозначения сохранения династического господства Бурбонов в противовес революционному принципу «узурпации» власти, который обосновывал законность новой власти через понятие «народного суверенитета».
В середине XIX столетия проблема легальности и легитимности власти стала одной из главных в юридической науке, особенно немецкой, что было связано прежде всего с созданием теории правового государства. С точки зрения теории правового позитивизма право тождественно закону государства, и поэтому легитимность должна была выводиться из законной видимости власти, так что между понятиями «легальность» и «легитимность» власти не возникало никакой напряженности. Вследствие чисто формально-юридического подхода к проблеме критерии легитимности и легальности власти становились по сути не различимы. Любое государство по формальному признаку наличия в нем государственных законов (основных норм) является правовым и легитимным.
«Вопрос о легальности господства есть вопрос о том, — писал в середине XX столетия К. Фридрих, — согласуется ли господство с существующими законами позитивного права, в особенности — совершается ли оно в соответствии с существующей конституцией. Господство может поэтому совпадать с субъективными ощущениями. В этом случае вопрос о легитимности, где есть господствующие правовые воззрения позитивного права, заключается только в том, согласуется ли оно с позитивным правом, и если да, то есть основание считать его за легитимное».
Такая трактовка легитимности власти фактически оказывалась совместимой с любым политическим режимом, даже полицейским. Слабости подобного рода позиции стали очевидными уже в начале XX столетия, когда происходит углубление дифференциации между политическим и юридическим бытием власти. В силу процессов модернизации общества, включения в политический процесс огромных народных масс, властные отношения становятся более сложными по своему содержанию и формам проявления, что сформировало потребность в новом анализе проблемы. Новое теоретическое развитие она обретает в трудах известного немецкого социолога М. Вебера и связано с его концепцией легитимного господства.
Понятие «господство» является одним из центральных в социологической теории М. Вебера. Можно сказать, что оно является ключевым в его теории о типах легитимного господства: «господство означает шанс встретить повиновение определенному приказу», — писал Вебер. Господство предполагает наличие определенной социальной связи между субъектами и выполнение ими определенных ролевых функций: господина и подчиненного. Оно предполагает также определенное ожидание тот, кто приказывает, ожидает, что его приказу будут повиноваться; те, кто повинуются, ожидает, что приказ будет иметь тот характер, какой ими, т. е. повинующимися, ожидается. Подчинение приказу может иметь различную мотивацию. В соответствии со своей методологией Вебер осуществил анализ легитимных типов господства, выделив возможные типические мотивы повиновения. «Господство» может быть обусловлено интересами, т. е. целерациональными соображениями повинующихся относительно преимуществ или невыгод выполнения приказа; оно может быть обусловлено «нравами», привычками к определенному повиновению; наконец, оно может основываться на простой личной склонности подданных к подчинению, т. е. иметь аффективную базу.