Чтобы избежать личного контакта между убийцами и жертвами, неизбежного при расстреле, в группах были опробованы и другие методы. Использование динамита оказалось кошмарным. Тогда стали внедрять передвижные газовые камеры на грузовиках, и вскоре каждому батальону было выделено по две такие машины. Тем временем в дополнение к мобильным акциям истребления началось использование стационарных центров, так называемых лагерей смерти. Всего их было построено и оборудовано шесть: в Хелмно и Освенциме на польских территориях, включенных в рейх, и в Треблинке, Собиборе, Майданеке и Бельзеце на территории Польского генерал-губернаторства. В некотором смысле, использование термина «лагерь смерти» для обозначения особой категории не совсем точно. Всего было создано 1634 концентрационных лагеря и их филиалов и свыше 900 трудовых лагерей. Все они были, в сущности, лагерями смерти, в том смысле, что в них гибло огромное количество евреев от голода и непосильного труда либо в результате казни за незначительные проступки, а то и вовсе без всякой причины. Отличие же указанных шести лагерей было в том, что они были специально спроектированы или переоборудованы для массовых убийств в индустриальном масштабе.
По-видимому, Гитлер отдал приказ о массовом уничтожении в стационарных центрах в июне 1941 г., то есть в то же время, когда начали действовать мобильные группы. Но, как мы видели, крупномасштабное убийство газом началось раньше, и в марте 1941 г. Гиммлер уже дал указание Гессу, коменданту Освенцима, расширить его для этой цели. По словам Гиммлера, выбор был сделан с учетом удобного подъезда по железной дороге и изолированности от населенных мест. Вскоре Гиммлер дал указание Одило Глобочнику, возглавлявшему СС в Люблине, построить Майданек; в дальнейшем этот человек возглавил комплекс уничтожения, в который вошли еще два лагеря смерти, Бельзец и Собибор. Команды передавались по цепочке: приказы Гитлера шли Гиммлеру, а от него – к конкретным комендантам лагерей. Впрочем, Герман Геринг, как куратор 4-летнего плана был вовлечен административно в организацию взаимодействия различных государственных бюрократических структур. Это важный момент, поскольку показывает, что, хотя непосредственными исполнителями в Холокосте были эсэсовцы, преступление носило характер общенациональной программы, в которую были вовлечены все иерархические уровни германского правительства, его вооруженные силы, промышленность и партия. Как отмечал Гильберг, «сотрудничество этих иерархий было настолько плотным, что вполне можно говорить об их сращивании в единую машину истребления».
Геринг поручил роль координатора Гейдриху, который как глава РСХА и шеф тайной полиции стоял на стыке государства и партии, и направил ему 31 июля 1941 г. письменный приказ:
«В дополнение к задаче, которая была доверена Вам декретом от 24 января 1939, а именно решению еврейского вопроса путем эмиграции и эвакуации по возможности наиболее благоприятным образом, с учетом настоящих условий настоящим поручаю Вам провести всю необходимую подготовку с точки зрения организации, снабжения и финансирования к полному решению еврейского вопроса в германской сфере влияния в Европе. Следует привлекать к этому и другие центральные организации, поскольку это затрагивает их компетенцию».
В свою очередь, Гейдрих отдавал приказы Адольфу Эйхману, своему подчиненному по линии РСХА, отвечавшему за «еврейские дела и вопросы эвакуации». Он нес административную ответственность за Холокост в целом, хотя Гиммлер и осуществлял оперативное руководство через вверенных ему комендантов лагерей. Именно Эйхман был автором приказа от 31 июля 1941 г., подписанного Герингом. Одновременно дополнительный устный приказ был отдан Гитлером Гейдриху и передан Эйхману: «Я только что от рейхсфюрера: Фюрер отдал приказ о физическом уничтожении евреев».