Не остались в стороне и теоретики. Они достаточно быстро решили задачу о прохождении электронов через зазор между острием зонда и исследуемой поверхностью. Получаемые сегодня картинки в СЗМ интерпретируют как изображения электронной плотности свободных носителей заряда на поверхности металла. Сканирующий микроскоп, удерживая постоянную величину туннельного тока, рисует ту поверхность, на которой вероятность пребывания электронов постоянна, то есть, по сути, ту самую псифункцию, которую используют для описания поведения квантовых объектов.
Туннельный ток и пьезопривод не только позволили увидеть, как лежат атомы на поверхности, но и дали возможность проведения простейших манипуляций с этими атомами. Подавая большее или меньшее напряжение, локально разогревают поверхность образца и испаряют отдельные атомы. Используют и чисто механический захват атомов и даже нанолитографию. Причем рисуют как прямым царапаньем и постукиванием, так и с помощью электрического тока и локальных химических реакций.
Ученые и технологи активно занялись изучением поверхностных свойств самых разнообразных электропроводящих материалов, проверяя свои физические модели и совершенствуя технологии. Сверхвысокий вакуум и сверхнизкие температуры достаточно быстро стали обычными атрибутами сканирующих зондовых микроскопов. Однако аппетит, как известно, приходит во время еды, и тот факт, что данный класс приборов плохо работает на воздухе и не позволяет исследовать не проводящие ток образцы, заставлял специалистов искать достойную замену туннельному току.
В своей нобелевской речи авторы изобретения – Герд Бинниг и Генрих Рорер сказали, что им понадобилось всего 27 месяцев, чтобы пройти путь от сформулированной концепции построения до реально работающего прибора. Туннельный ток оказался очень хорошим индикатором контакта двух поверхностей, и, хотя практически сразу стало понятно, что это далеко не единственный способ «увидеть» атомы, избавиться от него оказалось не так просто.
Создание атомно-силового микроскопа (АСМ), способного чувствовать силы притяжения и отталкивания, возникающие между отдельными атомами, затянулось на целых 5 лет, и только в 1986 году коллектив под руководством Герда Биннига смог получить изображения непроводящих поверхностей с атомарным разрешением. Причем в первом АСМ обойтись без туннельного эффекта не удалось и в состав «новомодного» микроскопа вошел «старинный» СТМ, задачей которого являлось измерение силы взаимодействия зондового острия и исследуемой поверхности.
Очередная высота была успешно взята, и по проторенной дороге вперед двинулись тысячи исследователей и десятки производителей. Менее чем за десять лет развития, то есть к началу 90-х, зондовая микроскопия освоила практически все возможные виды взаимодействия между острием и поверхностью. Сегодня эти приборы умеют рисовать распределение электронной плотности проводников и топографию любых твердых материалов, магнитные домены в ферромагнетиках и электрические в сегнетоэлектриках, краску в стеклах и примеси в полупроводниках. Из уникального изделия за миллион долларов сканирующий микроскоп очень быстро превратился в обычный прибор, стоящий не дороже хорошего осциллографа.