Александр Михайлович Светличный

Все книги автора Александр Михайлович Светличный (1) книг

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».

Александр Михайлович Светличный , Игорь Леонидович Житяев

Детская образовательная литература / Книги Для Детей

Читать

• Серии
• Авторы
• Все жанры