В 50-е годы в разных странах проводились работы по высокочастотной плазме (Т.Б. Рид, Ж. Рибо, Г. Баркхофф и др.). В СССР они велись с конца 50-х годов в Ленинградском политехническом институте (А.В. Донской, С.В. Дресвин), МЭИ (М.Я. Смелянский, С.В. Кононов), ВНИТВЧ (И.П. Дашкевич) и др. Исследовались разряды в различных газах, конструкции плазмотронов и технологии с их использованием. Были созданы высокочастотные плазмотроны с кварцевой и с металлической (для мощностей до 100 кВт) водоохлаждаемой (создана в 1963 г.) камерами.
В 80-х годах высокочастотные плазмотроны мощностью до 1000 кВт на частоты 60 кГц — 60 МГц применялись для получения особо чистого кварцевого стекла, пигментного диоксида титана, новых материалов (например, нитридов и карбидов), особо чистых ультрадисперсных порошков и разложения отравляющих веществ.
Диэлектрический нагрев первоначально нашел применение в медицине. В 1891 г. Ж.А. д'Арсонваль (Франция) обнаружил термическое воздействие переменного электромагнитного поля на человека. Р. фон Зейнек (Германия) в 1899 г. открыл возможность использования электромагнитных полей частотой свыше 200 кГц для нагрева тканей тела и лечения. С 1906 г. использование диатермии стало быстро распространяться, и до настоящего времени диэлектрический нагрев широко используется для физиотерапии.
В 1925 г. А. Эсау (Франция) заметил, что передатчик большой мощности метрового диапазона, т.е. сверхвысокочастотные (СВЧ) волны, вызывал ощущение нагрева у персонала и предложил использовать СВЧ-волны для терапии. Совместно с Е. Шлипхаке он провел испытания на животных и людях.
В 1930 г. И. Петцольд (Германия) исследовал влияние частоты на глубину прогрева.
Диэлектрический нагрев нашел широкое применение, несмотря на сложность и высокую стоимость оборудования, так как позволяет нагревать непроводящие однородные материалы с высокой скоростью и равномерностью, а неоднородные материалы — избирательно, например, при сушке или склеивании.
В 1933 г. Центральная научно-исследовательская лаборатория электромагнитных волн, которая исследовала сушку и стерилизацию фруктов (внедрение в гг. Тирасполе и Краснодаре, 1938–1940 гг.). В 1937 г. П.П. Тарутин (ВНИИзерна) изучал ВЧ-сушку и уничтожение вредителей зерна с применением токов высокой частоты.
В США в 40-е годы развиваются высокочастотный нагрев пластмасс, склеивание древесины и фанеры. Во Франции А. Эсау разрабатывает ВЧ-сушку текстиля и продуктов питания, склеивание древесины и нагрев пластмасс перед прессованием, М. Дескарсин (1946 г.) — нагрев керамики, Ледюк и Дюфур — вулканизацию каучука.
В СССР в 40-е годы продолжались работы по диэлектрическому нагреву. С 1941 г. началось промышленное применение ВЧ-сушки древесины. В ВЭИ исследуют получение с применением диэлектрического нагрева пресс-порошков (Н.В. Александров и В.М. Дегтев) и электроизоляционных материалов (Л.С. Левин). А в НИИ шинной промышленности (Х.Э. Малкина и А.П. Пухов) — вулканизацию массивных шин.
На развитие техники диэлектрического нагрева большое влияние оказали работы А.В. Нетушила, особенно выпущенная под его редакцией монография «Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников» (1959 г.).
Большой вклад в промышленное применение диэлектрического нагрева внес ВНИИТВЧ (А.А. Фрумкин, А.В. Дмитриев, Т.А. Шелина):
серийное производство установок для нагрева таблеток пресспорошков (1949 г.);
внедрение высокочастотной сушки пряжи на фабрике им. А.И. Желябова (г. Ленинград); 1953 г.;
начало серийного производства на Ленинградском заводе высокочастотных установок (ЛЗВУ) установок для сварки термопластов (1956 г.);
серийное производство установок для склеивания древесины (1962 г.);
начало опытной эксплуатации конвейерной установки для высокочастотной сушки литейных стержней на Минском тракторном заводе (1969 г.);
серийное производство конвейерных высокочастотных установок (1971 г.);
введение линии для получения пенополистирольной теплоизоляции для холодильников в г. Ереване (1972 г.).