В СССР плавильные электронно-лучевые печи разработанные ВНИИЭТО, стали внедряться в 70-е годы: в 1977 г. осуществлен пуск в промышленную эксплуатацию ЭЛУ емкостью 1 т на Узбекском комбинате тугоплавких и жаропрочных металлов; в 1980 г. на Новосибирском ЗЭТО изготовлена ЭЛУ для получения слитков массой 30 т.
Для получения порошков тугоплавких металлов (с последующим изготовлением деталей горячим прессованием) методом центробежного распыления вращающейся оплавляемой заготовки в 70-х годах начал использоваться электронно-лучевой нагрев (США, ФРГ, СССР).
С 1961 г. фирма «Темескал» (США) эксплуатирует установку с плосколучевой пушкой для рекристаллизационного отжига металлической ленты в вакууме. Подобную установку разработала также фирма «Дегусса» (ФРГ). Изготовленная в ГДР установка для термообработки ленты была оснащена аксиальной пушкой с системой управления перемещением электронного луча.
В США в 70-х годах ЭЛУ использовалась для микрообработки полупроводниковых приборов. Промышленные установки для размерной обработки электронным лучом выпускались также в Японии, ГДР и других странах.
В нашей стране в 80-е годы для электроннолучевой обработки выпускались специализированные промышленные установки типов А306 и ЭЛУРО мощностью до 100 кВт, оборудованные системой перемещения заготовки.
Идею процесса вынужденного излучения высказал еще А. Эйнштейн в 1916 г. В 40-х годах В.А. Фабрикант (МЭИ) впервые экспериментально подтвердил возможность усиления света и получил диплом СССР на открытие (1951 г.), Н.Г. Басов, A.M. Прохоров, (СССР), Ч.Х. Таунс (США) получили Нобелевскую премию (1964 г.) за работы по квантовой электронике.
Первые лазеры создали:
Т.Х. Майман (США, 1960 г.) — импульсный твердотельный лазер (на рубине);
А. Яван, В.Р Беннет, Д.Р. Херриот (США, 1961 г.) — непрерывно работающий гелиево-неоновый лазер;
Р.Н. Холл, М.Дж. Натан, Т.М. Квист (США, 1962 г.) — лазер на арсениде галлия;
С. Пател (США, 1964 г.) — лазер на углекислом газе.
В 90-х годах известны уже около 200 рабочих тел для получения лазерного излучения, однако для электротехнологии наиболее часто применяют лазеры на углекислом газе, позволяющие получить наибольшие значения мощности и КПД, и твердотельные (рубиновые), имеющие меньшие габариты и удобные в эксплуатации.
Плотность потока энергии в лазерном луче достигает весьма высоких значений (до 1•1013
Вт/м2), чем главным образом и определяются технологические возможности лазерного нагрева.Первым процессом, внедренным в промышленность, являлось упрочение картера рулевого управления автомобиля в отделении фирмы «Дженерал моторе» (США) в 1974 г., при этом использовался лазер на углекислом газе мощностью 1 кВт.