В силу исторической приоритетности потребностей военной техники уже в предвоенные (30-е годы) и особенно в последующие 40–80-е годы усилия многих ученых и инженеров, целых научных и производственных коллективов были сосредоточены на создании и выпуске различных СВЧ-приборов и устройств военного назначения (до 90% ламп закупалось военной промышленностью). Такая концентрация сил происходила как в СССР, так и за рубежом (главным образом в США, Великобритании, Франции). Это привело к значительным успехам в СВЧ-технике в целом и, в частности, в развитии СВЧ-приборов. Тем самым создавалась и развивалась база для использования СВЧ-энергии не только в традиционных радиотехнических направлениях, но и в промышленности.
В технологической СВЧ-электронике функция электромагнитных волн — энергетическое воздействие на объект, при этом важную роль играет правильный выбор рабочей частоты электромагнитных колебаний и уровня мощности их источника. Оптимизация взаимодействия электромагнитных полей СВЧ-излучения с объектом требует учета многих факторов, таких как форма и объем объекта, физико-химический состав и структура и др.
СВЧ-технологии — относительно молодые направления техники. Их развитие началось в середине 40-х годов и расширялось по мере создания источников СВЧ-колебаний: триодов, тетродов, магнетронов, пролетных клистронов. Сегодня, на рубеже XX и XXI вв., номенклатура объектов, обрабатываемых СВЧ-излучением, заметно растет, но результаты воздействия на различные микро- и макрообъекты изучены далеко не во всей полноте. Их принято разделять на тепловые и нетепловые, а объекты обработки — на неживые и живые (биологические). Доминирующим в развитии технологий СВЧ-обработки следует признать СВЧ-нагрев неживых объектов (материалов, продуктов). Это направление начало особенно интенсивно развиваться в 60-х годах и уже глубоко проникло в промышленную и бытовую сферы.
В промышленных установках СВЧ-нагрева используются как одиночные источники СВЧ-энергии с требуемой выходной мощностью, так и комбинации из двух, трех и более (до десятков) СВЧ-генераторов, работающих одновременно или по определенной пространственно-временной программе. В бытовых установках (например, в микроволновых печах), как правило, используется один магнетрон.
С конца 60-х годов и по настоящее время изучаются медико-биологические эффекты воздействия СВЧ-облучения на живые микро- и макрообъекты. В конце 90-х годов начато создание установок автономных и комплексных воздействий, например СВЧ- и УФ-облучений. Так, в 1997 г. специалистами ОАО «Плутон» создана портативная установка бактерицидной обработки проточных жидкостей, медицинских инструментов, отходов. В конце 90-х годов начинают применять импульсные, в том числе моноимпульсные режимы для мощного локального теплового и, возможно, «нетеплового» СВЧ-воздействия на микрообъект в целях деструктуризации или «угнетения» этого микрообъекта. Частным случаем такого технологического процесса является безнагревная антисальмонельная обработка сырых яиц домашней птицы.
В технологических СВЧ-установках в основном используются магнетроны. Однако находят применение и пролетный клистрон (например, в СВЧ-сушилках крупногабаритных материалов), ниготрон (например, в мощных плазмотронах), гиротрон (например, в установках нагрева плазмы). Однако магнетрон вряд ли утратит свои позиции в XXI в. По-видимому, первым из исследователей, поместившим вакуумный диод с коаксиальными электродами в продольное магнитное поле для управления отсечкой тока, был немецкий инженер К. Гадинг (К. Gading, 1910 г.), запатентовавший такой прибор, видя в нем конкурента изобретенному за 3 года до этого Ли де Форестом триоду.
Однако наиболее заметный интерес к диоду в магнитном поле был проявлен учеными и инженерами разных стран в период 1919–1939 гг. Из первых исследователей «магнитного диода» со сплошным анодом и нитевидным прямонакальным катодом следует выделить американца А. Халла (A. Hull), в 1921 г. описавшего движение электронов в пространстве между коаксиальными цилиндрическими электродами в присутствии однородного магнитного поля. А. Халлом был введен термин «магнетрон». При этом магнетрон отнюдь не рассматривался как генератор СВЧ-колебаний. Эффект генерирования электромагнитных колебаний в магнетроне открыли в 1924 г. независимо друг от друга чехословацкий инженер А. Жачек (A. Zacek) (циклотронные колебания с длиной волны больше 30 см) и немецкий физик Е. Хабанн (Е. Habann) (колебания типа «отрицательного сопротивления» в магнитном диоде с разрезанным на два сегмента анодом и с подключенным внешним LC-контуром).
В период 1926–1936 гг. магнетрон развивался уже как генератор электромагнитных колебаний. В 1927 г. А.А. Слуцкин и Д.С. Штейнберг (СССР) впервые создали магнетрон в диапазонах 60–30 и 7,5 см. Основная тенденция этого периода — увеличение мощности и продвижение в диапазон все более коротких волн — решалась в рамках использования магнитного диода с разрезным анодом и внешнего колебательного контура.