В 1929 г. А. Окабе (A. Okabe), Япония, добился генерирования колебаний в диапазоне волн 3–5 см магнетроном с четырехсегментным анодом, а в 1932 г. Е. Мегоу (E.C.S. Megaw), Англия, получил колебания с длиной волны 40–60 см на магнетроне с двенадцатисегментным анодом. Важной вехой в развитии теории и практики создания магнетронов явилось введение в 1934 г. К. Постумусом (К. Posthumous), Голландия, концепции вращающегося поля для электромагнитных колебаний типа «бегущей волны» и принципа синхронизма при взаимодействии электронов с электромагнитными волнами.
В русле упомянутой задачи наращивания мощности и увеличения частоты, пожалуй, наиболее весомым надо считать появление в 1936–1940 гг. магнетронов с цельномедным анодом, содержащим непосредственно в теле анода несколько полых СВЧ-резонаторов вместо внешних LC-контуров. Работы в 1935–1940 гг. в СССР проводились под руководством М.А. Бонч-Бруевича инженерами Н.Ф. Алексеевым и Д.Е. Маляровым. Были получены рекордные по тому времени мощности непрерывных колебаний — до 300 Вт с длиной волны 9 см. В дальнейшем во всем мире стали разрабатываться именно многорезонаторные магнетроны.
Одной из ранних проблем, возникших в мно-горезонаторных магнетронах, явилась неустойчивость генерации, а с увеличением уровней мощности этой проблеме сопутствовала не менее существенная — недолговечность тонкого катода. Первая из них была успешно решена введением в анодную резонаторную систему связок [Дж. Сэйерс (J. Sayers), Англия, 1941 г.], а позже использованием разнорезонаторных систем [Дж. Рэндол, X. Бут (J.T. Randall, H.A. Boot), Англия]; вторая — введением полого цилиндрического катода с подогревателем. В радиоламповой технике такой катод был предложен русским ученым А.А. Чернышевым (1918 г.), а для магнетронов в 1933 г. — американским инженером К. Хенселлом (К. Hansel).
В период 1941–1945 гг. преимущественно создавались импульсные магнетроны для радиолокаторов. В этот период появилось множество усовершенствованных конструкций и технологий, измерений и испытаний. Вплоть до 1946 г. лидерство во всех этих направлениях удерживали страны Запада. После войны значительные успехи были достигнуты и в СССР (С.А. Зусмановский, А.П. Федосеев, П.И. Седов, И.М. Гаврилин и др.).
В СССР в период 1946–1975 гг. также преимущественно развивались импульсные магнетроны различных частотных диапазонов и уровней мощности, хотя с 60-х годов стали появляться и магнетроны непрерывного действия. Тем не менее в мировой практике уже к середине 60-х годов лидирующее положение в создании и выпуске магнетронов для технологических установок заняла Япония, в настоящее время экспортирующая на мировой рынок не только микроволновые печи, но и магнетроны различных уровней мощности (500–900 Вт) для их изготовления. Значительный рывок в 1988–1990 гг. был сделан в Южной Корее. В США и России разработан ряд типов магнетронов непрерывного действия для технологических целей на частотах 915 и 2450 МГц. Достигнуты уровни мощности 100 Вт — 100 кВт и КПД до 85%.
Современные магнетроны непрерывного действия для различных технологических установок содержат в подавляющем большинстве связочные резонаторные системы и спиральные прямонакальные катоды. Эти приборы характеризуются устойчивостью к изменениям нагрузки, что существенно, например, для таких новейших технологий, как СВЧ-накачка безэлектродных газоразрядных источников оптического излучения — светильников и облучателей.
Различные типы магнетронов в зависимости от уровня мощности имеют конструкции с воздушным или жидкостным охлаждением.
В определенных технологических установках используются и другие типы СВЧ-приборов, в частности уже упоминавшийся пролетный клистрон, многолучевой клистрон, обращенный коаксиальный магнетрон.
Первые образцы пролетныхчслистронов созданы в 1938 г. американскими инженерами В. Ханом (W. Hahn) и Г. Метколфом (G. Metcalf) и независимо братьями Р. и 3. Вариан (R. and S. Varian). Базовые идеи, реализованные в клистроне, принадлежат советским физикам Д.А. Рожанскому (1932 г.), А. Арсеньевой и О. Хайлю (1935 г.). В 90-х годах клистроны непрерывного действия уже обеспечили выходную мощность от нескольких ватт до нескольких мегаватт. Лучшие достижения по КПД приближаются к 80%, но, как правило, составляют 40–70% на фиксированной частоте.
На развитие клистронов оказало заметное влияние создание отражательного клистрона в СССР (Н.Д. Девятков, Е.Н. Данильцев и, независимо от них, В.Ф. Коваленко) и появление теоретических работ (Я.П. Терлецкий, 1943 г., С.Д. Гвоздовер, 1944 г.). Следует заметить, что В.Ф. Коваленко в 1940 г. первый предложил и многолучевой клистрон, который может конкурировать с современными магнетронами.