На распутье

Топологию с чипа получили в готовом виде, для этого ничего не требовалось, кроме хорошего микроскопа. Нам дико повезло, что чип был однослойным, это совсем не характерно даже для изделий девяностых годов. Кроме значительного выигрыша во времени, сие позволило обойти часть совершенно неочевидных для шестьдесят пятого года технологических капканов. С остальными задачами все обстояло не так радужно.

Для начала, технология в образце использовалась на 6 мкм. И это мне еще жутко повезло, позже я понял, что встретить чип «хуже 1 мкм» в две тысячи десятом году почти невозможно. Оборудование «Пульсара» позволяло использовать чипы только на 10 мкм, но тут, по крайней мере, все казалось вполне «земным», не возникало особых вопросов по поводу происхождения часов.

Главное, мои представления о послойной «шлифовке» для понимания химсостава оказались несколько… примитивными, если не сказать больше. Дело в том, что сам полупроводник, по сути, простой легированный материал. Состав веществ давно известен, необходимо всего-то узнать трехмерную структуру, по которой все это распределялось. Для понимания устройства затвора, к примеру, нужно в микроскопе выбрать точку, где имеется нужная «конструкция», и испарять все слои, пока остается подозрение, что они там вообще есть. В идеале — насквозь. В процессе масс-спектрометром смотреть, из чего состоит слой. Причем все это в глубоком вакууме. И так — во многих точках.

Но образец-то один! А надо хотя бы несколько десятков, лучше сотен. В общем, что-то, конечно, из артефакта выкачали. Даже спорили между собой, что важнее смотреть, потом — почему так получилось. Многие уже не знали, куда складывать заявки на авторские свидетельства из-за подобных мини-открытий.

Но основным драйвером прорыва все же стало обычное человеческое упрямство. В шестидесятых это еще играло роль, ученые считали себя как минимум «не хуже американцев». И грызли «задачки» едва ли не зубами.

Следующей проблемой сделалось совмещение слоев. Возможно, это оказалось самым сложным на данном этапе, если не считать подбора химии всяческих паст и порошков. Засвечивать фоторезист на пластине кремния нужно было далеко не один раз. Тут не увеличенный масштаб шаблона, а натуральный. Так что точность совмещения — единицы микронов. Все делалось без автоматики, руками не слишком квалифицированных сотрудниц. Но ничего, после написания инструкции на два десятка страниц даже это стало получаться[220].

Сейчас молодые топы «Пульсара» удивлялись своей наглости, полученным результатам и присматривали новые костюмы для выхода на церемонию торжественного награждения. Без этого не обойдется, они добились немалого за удивительно короткий срок.

Ребята сидели в курилке и сплетничали на производственные темы. Меня давно не стеснялись, привыкли, как продавщицы из супермаркета к видеокамере над кассой.

— Нинка-то, прикинь, температуру на загонке фосфора держит, точно как робот.

— Которая новенькая, в очках?

— Не, ту дуру даже вскрывать контактные площадки ставить нельзя. Рыженькая, еще хвостик делает смешной…

— Да под капюшоном не видно ни хрена, симпатичная хоть?

— Не, ребят, все ж Наташка поинтереснее будет.

— Замужем она, а то…

— Плевать! Зато в комбезе такая попа!

— Она третьего дня этой задницей так проявитель пихнула, что чуть едкий калий не выплеснула.

— Запорола много пластин?

— Да мелочи, все вам недостатки искать. Зато девушка — огонь!

— Давай ее на разгонку бора переведем, там тигель с трудом последнюю сотню градусов набирает…

Против существующих в СССР серийных образцов даже полученные с грехом пополам квадратики были потрясающим прорывом, это как карету с «фордом-Т» сравнивать. Что у нас производилось? Ведь не зря ЭВМ до сих пор собирали на транзисторах, микросхемы шли чуть ли не исключительно в оборонку. Да и можно ли их было так называть — «микросхемы»?

Резисторно-транзисторная «Тропа», двадцать пять элементов на квадратный сантиметр или даже на кубический, поскольку выглядело это чудо как металлический кубик с толстыми ножками внизу. По сути, там несколько кристаллов транзисторов в одном корпусе. Плюс два десятка пленочных резисторов. Работал этот плезиозавр микроэлектроники медленно и грелся прилично. Более современным изделием стал диодно-транзисторный «Посол», до пятидесяти элементов в том же форм-факторе, чуть побыстрее и похолоднее. Пока дефицит и топ-секрет. Еще военные использовали какие-то микросборки, но это совсем трилобиты раннего кембрия. По документации все это веселое хозяйство проходило как «интегральные схемы», но сами разработчики уже давно так не говорили.