К вечеру 18-го армия Наполеона удержала все ключевые позиции. В ночь на 19 октября французский император приказал отступать через Лейпциг за реку Эльстер. На рассвете союзники начали преследование. Отход прикрывали корпуса Понятовского, только что произведенного в маршалы, и Макдональда. На улицах Лейпцига кипели рукопашные схватки. Единственный мост через Эльстер был взорван раньше времени, когда саперы увидели приближавшихся к нему русских и прусских солдат. В Лейпциге в этот момент еще оставался 28-тысячный арьергард Понятовского и Макдональда. Лишь немногим, включая Макдональда, удалось переплыть реку. Понятовский бросился в воду на коне, был ранен и утонул в Эльстере. Почти все солдаты французского арьергарда погибли или попали в плен.
В результате Лейпцигского сражения Наполеон потерял 65 тысяч убитыми и ранеными, 20 тысяч пленными и 325 орудий. Потери союзников составили 54 тысячи человек.
Наполеоновская армия отступала к границам Франции. Ей попыталась преградить путь 50-тысячная баварская армия фельдмаршала К. Ф. Вреде, усиленная русскими и австрийскими отрядами, но была отброшена в сражении при Ганау 30 октября, потеряв 9 тысяч человек.
После битвы при Лейпциге Наполеон лишился всех своих германских союзников, а также бельгийской и голландской армий, и мог теперь полагаться только на французские войска. 15 ноября союзники предложили мир на условиях Люневильского договора 1801 года. Император Франции в течение двух месяцев не отвечал на них.
Тем временем в январе 1814 года войска коалиции перешли французские границы. С Рейна шли русские, австрийцы, пруссаки, шведы и их немецкие союзники, с Пиренеев – испанцы и англичане. В этих условиях союзные монархи переформулировали свои предложения, настаивая теперь уже на границах 1792 года. Наполеон их отверг и 25 января выехал из Парижа к армии.
Имея первоначально только 47 тысяч солдат, он нанес союзникам ряд чувствительных ударов. 27 января у Сен-Дизье был разбит авангард союзных войск под командованием генерала С. Н. Ланского, через три дня потерпели поражение корпуса Блюхера и Остен-Сакена. 1 февраля при Ла-Ротьере Наполеон с 30 тысячами устоял против 122-тысячной Богемской армии Шварценберга, а затем в нескольких сражениях серьезно потрепал Силезскую армию. Превосходя своих противников в искусстве маневра, Бонапарт умел сосредотачивать равные или даже превосходящие силы против тех отрядов неприятеля, которые он в данный момент собирался атаковать. Но везение не могло продолжаться вечно.
7 марта ему не удалось разбить корпус графа Воронцова при Краоне. 9 и 10 марта французы безуспешно атаковали армию Блюхера в Лоане. 21 марта при Арсисюр-Об главные силы Шварценберга отбили атаки Наполеона. Правда, 26 марта французы смогли разбить при Сен-Дизье корпус Ф. Ф. Винценгероде. Но это была Пиррова победа. От пленных Наполеон узнал, что главные силы союзников, оставив в тылу армию французского императора, двинулись на Париж. Это решение было принято по настоянию Александра I, получившего тайное письмо из французской столицы от министра иностранных дел Франции Талейрана, сообщавшего, что в Париже союзников ждут сторонники реставрации Бурбонов. 23 марта казаки перехватили письмо Наполеона своей жене императрице Марии Луизе, дочери Франца I, где сообщалось о его движении к Сен-Дизье и Марне. Бонапарт хотел установить связь с находившимся в Лионе 40-тысячным корпусом маршала Ожеро, чтобы затянуть борьбу. Но оказалось, что, удалившись от столицы, французский император только приблизил развязку.
Союзная армия численностью в 100 тысяч человек двинулась на Париж. 25 марта под руководством Барклая-де-Толли она разбила корпуса Мармона и Мортье. Французские маршалы отступили к Парижу, где вместе с гарнизоном и национальной гвардией имели в своем распоряжении до 40 тысяч солдат. 30 марта союзники начали атаку Парижа. К 5 часам вечера Мармон и Мортье капитулировали, поддавшись на уговоры Талейрана. Утром 31 марта союзники вступили во французскую столицу. Барклаю, командовавшему войсками, штурмовавшими Париж, было присвоено звание фельдмаршала.
Наполеон в этот момент находился в Фонтенбло с 30-тысячной армией. 5 апреля он рассчитывал собрать 70 тысяч человек и идти отбивать Париж. Но маршалы, сознавая безнадежность борьбы, потребовали от императора отречения. Тот вынужден был подчиниться и составил отречение в пользу сына при регентстве Марии Луизы, дочери императора Франца. Наполеон рассчитывал, что союзные монархи согласятся с такой формулировкой. Но к тому времени на сторону Бурбонов перешли войска, капитулировавшие в Париже, и союзники потребовали от Бонапарта полного отречения от престола за себя и за своих потомков. 6 апреля Наполеон подчинился этому требованию и отправился в почетную ссылку на остров Эльбу вблизи Корсики, ставший как бы его пожизненным владением.