Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий

Чем сложнее система, тем проще ее патентовать. Проблема заключается в том, чтобы ее изготовить и обеспечить требуемые характеристики.

Помимо основных сложных систем для обеспечения процесса рентгенолитографии необходимо было разработать большое количество вспомогательных узлов: интерферометров, модуляторов, сканеров, транспортеров и т. д. Например, в интерферометре (рис. 4.7) лазер 1 формировал посредством оптических модулей 2, 3, 4 и уголкового отражателя 5 совмещенный оптический сигнал на фотоприемнике 6, характеризующий перемещение отражателя 5, перпендикулярное оси лазера 1. Этот интерферометр измерял перемещение сканирующих устройств, изображенных на рис. 4.2, 4.3, 4.4 и должен был иметь уменьшенные габариты в отличие от классического интерферометра Майкельсона, что и определило возможности его патентования [21] благодаря использованию одного уголкового отражателя 5.

В интерферометре (рис. 4.8) не было необходимости бороться за габариты, а вот повышенная точность измерения была необходима и достигалась благодаря тому, что луч от лазера 1, используя полупрозрачные зеркала 2 и 3 и отражаясь от смещенных на величину А уголковых отражателей 4 и 5, формировал увеличенное перемещение отражателя 4, перпендикулярное оси лазера 1, что и фиксировал фотоприемник 6 [22].

Рис. 4.8. Интерферометр с повышенной точностью измерения: 1 – лазер; 2, 3 – полупрозрачные зеркала; 4, 5 – уголковые отражатели; 6 – фотоприемник

Рис. 4.9. Модулятор: 1 – пьезобиморф; 2 – корпус; 3,4 – направляющие; 5 – плоская пружина; 6 – шторка