Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий

Это удалось сделать, используя сближение лапок 1 (рис. 10.2) захвата 2 при линейном перемещении манипулятора 3 вверх и взаимодействии нерабочих концов 4 лапок 1 с возвратным механизмом 5, неподвижно закрепленным на стенке вакуумного криостата (не показан). Это необходимо, чтобы лапки 1 вернуть в исходное положение (для последующего захвата носителя 8), так как их раздвижка (для освобождения носителя) происходит при движении захвата 2 вниз и взаимодействии зацепов 6 с канавками 7 носителя 8. Новизна и изобретательский уровень в этой системе [2] были обеспечены помимо использования возвратного механизма еще и средствами, обеспечивающими точную ориентацию носителей 8 в зоне измерения за счет канавок 7.

Третья транспортная система имела специфику силового закрепления носителя образца в зоне измерения, связанную с возможностью его нагрева или охлаждения. Силовое закрепление необходимо для обеспечения хорошего теплового контакта между носителем образца и модулем тепло-подвода (теплоотвода). В результате возникло оригинальное решение, которое связано с использованием сильных пружин для фиксации носителя образца и возможностью его извлечения.

Для фиксации носителя 1 образца 2 (рис. 10.3) на нагревателе (холодильнике) 3 был использован первый зацеп 4, сопряженный с выборкой 5.

При этом высокая жесткость манипулятора 6 на кручение обеспечила выгрузку носителя 1. Это осуществлялось следующим образом. Манипулятор 6 поворачивали по часовой стрелке, пружина 7 поднималась (вид А), выборка 5 размыкалась с первым зацепом 4, второй зацеп 8 взаимодействовал с краем отверстия 9 и снимал носитель 1 с нагревателя 3.

В данном случае новизна и изобретательский уровень помимо использования описанных элементов были достигнуты еще и благодаря обеспечению тепловых контактов в широком диапазоне температур, и за счет измерения температуры рабочей поверхности образца, и за счет применения специальных материалов (подробно см. в [3]).

Рис. 10.3. Силовая транспортная система: 1 – носитель образца; 2 – образец; 3 – нагреватель (холодильник); 4 – первый зацеп; 5 – выборка; 6 – манипулятор; 7 – пружина; 8 – второй зацеп; 9 – отверстие носителя (на виде А показана верхняя часть пружины 7)

Рис. 10.4. Инерционный шаговый двигатель: 1 – плоские пружины; 2, 3 – первая и вторая подвижные каретки; 4 – направляющая; 5,6 – трущиеся поверхности