Патентование изобретений в области высоких и нанотехнологий

Следующим вспомогательным элементом почти каждого высокотехнологичного комплекса является двигатель для перемещения объектов. В одном из вариантов специфика использования инерционного шагового двигателя для высокоточной системы измерения заключалась в минимизации его нефункциональных перемещений, которые необходимы при работе с нанообъектами. Данная специфика была учтена и реализована благодаря применению упругих плоских пружин 1 (рис. 10.4), соединяющих первую 2 и вторую 3 подвижные каретки, установленные на направляющей 4 с возможностью перемещения, например, по координате X, что и явилось основным отличительным признаком от известного технического решения.

Использование пружин 1 обеспечило стабильное положение кареток 2 и 3 (относительно друг друга) при перемещении их по трущимся поверхностям 5 и 6 направляющей 4 и стабилизацию усилия между ними, что дополнительно повысило надежность работы двигателя [4].

В другом варианте шагового двигателя (см. рис. 10.4) новизна была достигнута за счет треугольной в сечении формы направляющей 4 и формирования микроканавок на ней [5].

Рис. 10.5. Координатный стол с пьезоподвижкой: 1 – основание; 2 – трехкоординатный пьезоэлемент; 3 – первая каретка; 4 – шаровые опоры; 5 – вторая каретка; 6 – ориентир; 7 – третья каретка; 8 – первый магнит; 9 – второй магнит