Одним весьма значимым аспектом правления императрицы была решительная поддержка буддизма. К 690-м годам буддизм уже на протяжении 500 лет проникал все глубже в китайские культуру и общество. Его мощная система верований, а также ритуалы и художественная культура удовлетворяли эмоциональные, духовные и интеллектуальные нужды, которые не могло удовлетворить конфуцианство. Как и раннее христианство, он привлекал группы, которые были угнетены при существующем порядке и идеологическом режиме, и особенно женщин. Хотя буддизм вовсе не проповедовал равенство полов, он давал женщинам большую свободу и уважение, чем ислам и христианство, не говоря уже о конфуцианстве. У Цзэтянь была с детства погружена в буддийскую религию и культуру. К тому времени, когда в 690 году она основала собственную династию, буддизм обрел в китайском обществе невероятную силу, имея миллионы сторонников и огромное богатство. У Цзэтянь дружила со знаменитыми буддийскими монахами, возводила десятки храмов, статуй и пагод и щедро одаривала существующие буддийские учреждения. Пропагандисты связывали императрицу с буддийскими текстами и святыми, тем самым подкрепляя легитимность ее власти. Одним из этих святых был император Ашока: взывая к его памяти, императрица У Цзэтянь в своем официальном титуле подчеркивала, что играет роль буддийского всемирного монарха (чакравартина). При этом для идеологической обработки использовались также даосские и конфуцианские традиции: чтобы прославлять императрицу и связывать ее имя со множеством значимых элементов в китайской исторической памяти и системе верований.
Много лет императрица У Цзэтянь размышляла, как создать свою новую династию Чжоу. Главная проблема состояла в том, что ей для этого пришлось бы лишить права наследования своих сыновей и передать его племянникам. Возможно, если бы среди ее племянников нашелся кто-то с достаточно сильным и убедительным характером, У Цзэтянь назначила бы его своим наследником. Но подходящего человека среди них не нашлось, а своим высокомерием они нажили себе немало врагов. Нежелание императрицы назначать их наследниками, вероятно, также проистекало из глубоких религиозных соображений. Несмотря на принадлежность к буддизму, У Цзэтянь также испытывала на себе влияние конфуцианской системы ценностей и ритуалов. Стареющую императрицу заботило, какое место она займет в загробной жизни, а это место было тесно связано с ее положением в родовом храме предков. Приносить жертвы предкам могли только сыновья и внуки. Если бы престол унаследовал ее племянник, не нашлось бы никого, кто стал бы приносить жертвы к ее могиле и заботиться о ее душе в загробной жизни. В 698 году она приняла предложение главного министра Ди Жэньцзе вернуть из 14-летнего изгнания ее сына, бывшего императора Чжун-цзуна, и назначила его своим наследником14.
К 705 году 80-летняя У Цзэтянь явно потеряла хватку. Когда случился переворот в пользу бывшего императора Чжун-цзуна, ее сместили с трона. Ей позволили уйти на покой, и когда десять месяцев спустя перед смертью она попросила, чтобы ее похоронили рядом с мужем Гао-цзуном, ее желание было исполнено. Еще любопытнее, что некоторые из племянников У Цзэтянь наладили отношения с династией Тан. Власть при режиме Чжун-цзуна принадлежала не безвольному императору, а его жене, императрице Вэй. Очевидно, она была любовницей У Санси, племянника императрицы У Цзэтянь. Из всех ее детей выжила лишь принцесса Анле, которую выдали замуж за сына У Санси. Шангуань Ваньэр, которая была личным секретарем императрицы У Цзэтянь, в теории стала наложницей императора Чжун-цзуна, а на практике руководила экзаменами для кандидатов на гражданскую службу по поручению императрицы Вэй. Тем не менее, хотя император Чжун-цзун был полным ничтожеством, его жене, дочери и наложнице было крайне важно контролировать его и пользоваться его именем. Всерьез рассматривалась возможность назначить наследницей принцессу Анле, но это признали невозможным в силу китайских традиций и ценностей. В результате, когда в 710 году Чжун-цзун неожиданно умер, императрица Вэй попыталась усадить на трон своего младшего сына, еще слишком юного для управления государством, надеясь, что сможет удержать власть. Ее планы разрушил переворот, спланированный принцессой Тайпин, дочерью императрицы У Цзэтянь, в результате которого императрица Вэй, принцесса Анле и Шангуань Ваньэр были убиты, а на троне был восстановлен бывший император Жуй-цзун, самый младший сын У Цзэтянь и брат принцессы Тайпин.