В июле 1958 г. Джек Килби из компании Texas Instruments придумал идею «монолита». В заявке на патент описывалась «новая миниатюризированная электронная схема, изготовленная из кристалла полупроводникового материала, содержащего диффузионный
Идея была превосходной, но реализация – изображенная в приложении к патенту Килби, датированному февралем 1959 г., – непригодной: проводные соединения, словно арки моста, поднимались над поверхностью кристаллической пластины – и вряд ли такой компонент мог считаться планарным. Килби знал: конструкция неработоспособна – и именно поэтому добавил примечание, что соединения должны быть выполнены каким-либо другим способом. В качестве примера он приводил золото, напыленное на тонкий слой оксида кремния на поверхности кристаллической пластины.
Килби не знал, что в январе 1959 г. Роберт Нойс, в то время руководитель исследовательского отдела компании Fairchild Semiconductor, описал в лабораторном журнале усовершенствованную версию той же идеи: «Желательно изготавливать множество устройств на одном кристалле кремния, чтобы в ходе производственного процесса взаимно соединить эти устройства и тем самым снизить размер, вес и т. д., а также стоимость в расчете на активный элемент». Более того, рисунок в приложении к патенту Нойса, заявку на который он подал в июле 1959 г., не содержит навесного монтажа; на нем ясно изображены планарный транзистор и «проводники в форме металлических полос, которые при помощи вакуумного напыления или иного метода распространяются по всему изолирующему оксидному слою и спаиваются с ним для создания электрических соединений с разными областями полупроводниковой подложки и между ними без замыкания контактов».
Патентная заявка Нойса была удовлетворена в апреле 1961 г., заявка Килби – в июле 1964 г. Тяжба между ними дошла до Верховного суда, который в 1970 г. отказался от слушания дела, поддержав решение нижестоящей инстанции, признавшей приоритет Нойса. Практического значения это не имело, поскольку в 1966 г. компании согласились поделиться лицензиями на производство, и появление интегральной схемы стало еще одним выдающимся примером изобретений, сделанных одновременно и независимо друг от друга. Основная идея была одинаковой, оба изобретателя получили Национальную научную медаль и вошли в Национальный зал славы изобретателей. Нойс прожил всего 62 года, а Килби в 2000 г. был удостоен Нобелевской премии по физике – в возрасте 77 лет, за пять лет до смерти.
Интегральная схема: патент Килби на «навесной монтаж»
Компания Texas Instruments назвала новые устройства «логическими микроэлементами». Их предполагалось использовать для управления межконтинентальными баллистическими ракетами и для осуществления полета человека на Луну.
Последующее развитие интегральных схем, которое описывается все еще действующим законом Мура (см. раздел: «Проклятие Мура: почему технический прогресс не столь стремителен, как кажется?»), сформировало современный мир, каким мы его знаем. В 1971 г. примитивные интегральные схемы усложнились до простых микропроцессоров, содержащих несколько тысяч элементов, а те, в свою очередь, усложнились настолько, что позволили сделать доступными персональные компьютеры, созданные в середине 1980-х гг. В 2003 г. количество элементов в интегральной схеме превысило 100 млн, а в 2015 г. достигло величины 10 миллиардов транзисторов. С 1965 г. число элементов увеличилось на восемь порядков, то есть росло со скоростью 37 % в год, и в расчете на определенную область удваивалось приблизительно каждые два года. Иными словами, если сравнить с сегодняшними возможностями компьютеров, то для достижения такой же производительности в середине 1960-х гг. потребовались бы компоненты бо́льшие по размеру в 100 млн раз. Как однажды заметил знаменитый физик Роберт Фейнман, «внизу много места».
Интегральная схема: патент планарной схемы Нойса
Проклятие Мура: почему технический прогресс не столь стремителен, как кажется?
В 1965 г. Гордон Мур, в то время директор отдела исследований и разработок в компании Fairchild Semiconductor, заметил: «…при минимальных затратах на компоновку сложность новых моделей микросхем – если судить по числу транзисторов – ежегодно возрастала приблизительно в два раза… Несомненно, в краткосрочной перспективе эта скорость, скорее всего, сохранится, а возможно, увеличится». Если взять достаточно продолжительный временной отрезок, то удвоение происходит каждые два года – иными словами, мы наблюдаем экспоненциальный рост на 35 % в год. Это и есть закон Мура.